西和産業
アクチュエータの配置場所を工夫し、外形の短縮を実現しました。
弁開度を任意に設定できるサブシリンダーが付いているので、1台のバルブでメイン排気と流量調節が可能です。
サーボモーター駆動により全開・全閉及び最大14ポジションの任意の位置に、再現性良く停止させることが可能で、流動制御や圧力制御が簡単に行えます。
全開から全閉まで軽く滑らかなハンドル操作です。
真空機器、真空部品に関するご質問・ご相談は、お気軽にお寄せ下さい。