真空機器、真空バルブの加工・設計

オイルフリースクロールポンプは、クリーンアプリケーション用ドライポンプとして広く使われています。

加圧給油方式を採用しており、大気圧から高真空までがスムーズです。

多くの実績を持つEXT75DXターボ分子ポンプとE2M1.5ロータリーポンプまたは、XDD1ダイアフラムポンプを組み合わせることで完全なドライシステムの要求に対応します。

エドワーズのTAG（Trubo and Active Gauge)コントローラが標準で装着されており、ボタン１つでシステムの始動と停止を行うことが出来ます。