西和産業
ステンレス製の堅牢なセンサーとコンパクトなデザインにより、半導体システムや補助真空排気ラインなどの一般用途に最適です。
丈夫でコンパクトなデザインでありながら豊富なオプション機能が用意されていて、低真空から高真空までの多様なプロセス用途に最適です。
インフィコンキャパシタンスダイアフラムゲージは、 過酷な製造装置環境において長期間安定した性能を発揮するよう設計されています。
INFICON Pirani Gauge Enhanced 050(PGE050)は、センサと電装部一体型のPGE300とPGE500に対して、センサと電装部(表示器)が分離している最新のデジタルコンベクション型ピラニゲージです。
INFICON Pirani Gauge Enhanced (PGE) は、市場における最新のデジタル熱伝導技術を搭載したピラニ真空計です。
PCG55xは、インフィコン社のセラミック製キャパシタンスダイアフラムセンサ技術とピラニセンサーの特長を一つに組み合わせた製品です。
インフィコンでは、正確な圧力計測と制御用としてコンパクトなコンビネーション真空計をフルラインで取り揃えています。
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