四重極型質量ガス分析計 Transpector XPR3+

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製品について

半導体とディスプレイの製造状況は競争がますます激化しており、常にスループットと歩留まりを最大化する必要性に迫られています。より高性能な半導体は、その製造において複雑さの増大が要求され、費用も嵩みます。トランスペクターXPR 3+ は、 PVD やスパッタリングのプロセスでのウェーハやパネルのリアルタイムの保護を実現することにより、スループットと歩留まりを最適化します。

特長

センサーの設計には現場で実証された四重極とデュアルイオンソースを採用
差動排気システムが不要で、寿命の長い部品や問題の速やかな検出と診断を組み合わせることで、ツールのアップタイム、製造のスループット、および歩留まりを最大化
トランスペクター XPR 3+ は、過圧からフィラメントを自動的に保護するためのピラニーインターロックを使用した構成が可能
トランスペクター XPR 3+ はチャンバー内の信頼性の高い分析をすることでツールの予防保全をより効果的かつ効率化します。

寸法表・サイズ設計

Transpector-XPR-3+.pdf

その他の商品

四重極型質量ガス分析計 . Transpector CPM

インフィコン社の提供する各種四重極型質量ガス分析計Transpectorシリーズは、真空中の残留ガス成分や各種プロセスガス中の不純物、およびガス組成の変化を高速且つ高感度で検出可能なリアルタイムモニターです。インフィコン社製Transpectorシリーズは、これまで数多くの研究機関や量産工場に導入されており、基礎研究から製造現場での歩留まり向上や品質管理に役立っています。

四重極型質量ガス分析計 Transpector MPS/MPH

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